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卧式真空镀膜机


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优势:

?低运营成本和快的生产周期确保的工业标准和竞争力的成本,材料和能源消耗低

?根据客户的生产需求量身定制设计服务

?快速,灵活的生产周期以及灵活,多功能的生产系统,能够以市场上快的周期运行,并配有自动控制系统,可消除人为错误

?所有操作阶段均由具有自动存档和备份功能的PC进行管理,该PC提供实时报告,系统和周期状态数据,在整个过程中通知和指导操作员 设备规格:型号TYWS-3042H真空室尺寸Ф3000×H4200mm真空室机构卧式结构配置抽气系统及水冷系统真空机组机械泵+罗茨泵+扩散泵/分子泵+维持泵真空测量系统一台皮拉尼(MKS) 一台冷阴极(MKS)一台薄膜规(MKS)镀膜系统电弧蒸发源、镀膜辅助离子电源充气系统质量流量计电源类型直流电源、中频电源、脉冲电源(偏压电源、弧电源)控制方式手动或全自动极限真空指标5.0x10-4Pa电弧源22台 - 28台200A - 300A偏压电源60KW/台工作转动方式多轴行星式公自转、变频调速(可控可调)工作烘烤温度常温-至450℃可控可调


卷绕式磁控镀膜机

卷绕式镀膜设备 - ITO膜卷绕式真空磁控镀膜机











设备特点:


ito薄膜是什么 :ITO薄膜的特性及用途

ITO薄膜是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。接下来,详细为你说下ito薄膜是什么,ITO薄膜的特性及用途。

一、ito薄膜是什么

ITO薄膜是一种n型半导体材料,具有高的导电率、高的可见光透过率、高的机械硬度和良好的化学稳定性。它是液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、电致发光显示器(EL/OLED)、触摸屏(TouchPanel)、太阳能电池以及其他电子仪表的透明电极常用的薄膜材料。











下面详细介绍一下真空镀膜机维护技巧:

1、扩散泵在重新开机前,要注意检漏工作。

扩散泵连续使用6个月以上,多弧离子镀膜机,抽速明显变慢,磁控溅射镀膜机,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水*清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。

方法是:启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,真空镀膜机,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。

方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,镀膜机,再将泵启动数秒,使泵内的旧油*排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。

3、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。

方法是:用(NaOH)饱和溶液反复擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
















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